ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）ダルトン

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・電流密度により多孔質シリコンウエハーが形成されます。

陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。

※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

【特長】
■多孔質シリコンを全自動にて形成します。
■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。
■N型、P型両方に対応出来ます。
■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。

ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。
※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。

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用途／実績例	半導体製造工程、電子材料製造工程、等

カタログポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

取扱企業ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

株式会社ダルトン

研究・検査・医学・教育施設（ドラフトチャンバー・各種実験台・流し台等）およびこれらの施設のプランニング、製作・施工・販売。排ガス・廃液処理装置、恒温恒湿室、低温試験室等の設計・製作・施工・販売。クリーンルーム、バイオクリーンルーム、バイオハザード対策用キャビネット、アイソレーター等の無塵無菌装置、関連機器の設計・製作・施工・販売。エッチングブース等、半導体関連機器の設計・製作・施工・販売。粉粒体加工機械（粉砕、造粒、混合、分級、乾燥、ラボ機他）の設計・製作・施工・販売。