株式会社ダルトン スピンコーター

スピンコーター https://www.ipros.jp/public/product/image/264/2000081306/IPROS4177512201636050443.jpg ■仕様 ※機種により異なります 【基板サイズ】 φ10~φ200、基板対応  【カップ(外輪)】 φ220~φ400 【回転範囲/回転数精度】 100~8000rpm/±3rpm以下 【真空Torr(mmHg)】 350Torr(mmHg)排気量24L/min以上必要(装置側φ6接続口) 【ステップ数&パターン数】10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準搭載) 【表示画面】蛍光表示管(表示20文字4桁)れしぴ、実回転数、基板吸着圧、時間の表示 【制御方法】 マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単) 【本体カバー・カップ材質】 ステンレス製 ミガキ#400標準 株式会社ダルトン 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > アニール炉
研究・開発向けの、低コストでハイスペックなスピンコーターです。

スピンコーター組込用ドラフトも同時販売します。耐酸・アルカリ仕様も製作します。簡易防爆(安増)仕様や装置パネル分離タイプなど特殊仕様も承ります。詳しくはお問い合わせ下さい。

基本情報スピンコーター

■仕様 ※機種により異なります
【基板サイズ】 φ10~φ200、基板対応 
【カップ(外輪)】 φ220~φ400
【回転範囲/回転数精度】 100~8000rpm/±3rpm以下
【真空Torr(mmHg)】 350Torr(mmHg)排気量24L/min以上必要(装置側φ6接続口)
【ステップ数&パターン数】10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準搭載)
【表示画面】蛍光表示管(表示20文字4桁)れしぴ、実回転数、基板吸着圧、時間の表示
【制御方法】 マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
【本体カバー・カップ材質】 ステンレス製 ミガキ#400標準

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※お問い合わせ下さい
用途/実績例 半導体製造工程、電子材料製造工程、等

カタログスピンコーター

取扱企業スピンコーター

名称未設定-1.jpg

株式会社ダルトン

研究・検査・医学・教育施設(ドラフトチャンバー・各種実験台・流し台等)およびこれらの施設のプランニング、 製作・施工・販売。 排ガス・廃液処理装置、恒温恒湿室、低温試験室等の設計・製作・施工・販売。 クリーンルーム、バイオクリーンルーム、バイオハザード対策用キャビネット、アイソレーター等の無塵無菌装置、 関連機器の設計・製作・施工・販売。 エッチングブース等、半導体関連機器の設計・製作・施工・販売。 粉粒体加工機械(粉砕、造粒、混合、分級、乾燥、ラボ機 他)の設計・製作・施工・販売。

スピンコーターへのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

株式会社ダルトン