高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。
詳しくはカタログをダウンロードしてください。
基本情報ピエゾステージ 「MH-20XYD」
○ナノメートル位置分解能
○弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作
○高速応答・高剛性を重視
○高精度な位置決め可能
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| 価格情報 | お問い合わせください。 |
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| 型番・ブランド名 | MH-20 |
| 用途／実績例 | ●詳しくはカタログをご覧頂くか、もしくはお問い合わせください。 |
取扱企業ピエゾステージ 「MH-20XYD」
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