コールドカソードイオン銃オメガトロン

ホットカソードには無い極めて低い温度、低い真空度で動作！

　オメガトロンのイオン銃技術とノウハウを結集し、シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃を完成させました。
放電電極に高価なレアメタルをおごっているにもかかわらず、最適設計により部品点数を削減したため、品質をより向上させつつ販売価格を１２３万円（税抜き）とすることができました。
また、オプションのユニットをお選び頂ければ、従来のような高機能・高性能タイプにリーズナブルにステップアップすることも可能です。
中性ビーム銃に搭載の同軸型ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければセラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します。
非常にシンプルな構造のため信頼性、メンテナンス性に優れ、お客様の手間も最小限です。

関連リンク - http://www.omegatron.co.jp/04ion/omi0012ckm.html

基本情報コールドカソードイオン銃

イオン化方式　　　　コールドカソード式
イオンエネルギー　　1kｅＶ～5kｅＶ　
イオンカレント　　　3μA～38μA/Ar+/WD=150ｍｍ
ビーム径　　　　　　φ15ｍｍ
動作真空度　　　　　5.0ｘ10-4Pa～2.0ｘ10-3Pa
　　　　　　　　　　（弊社チャンバーにて）

価格情報	1230000 国内直販価格
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	~ 1ヶ月 ※購入時期により納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	OMI-0012CKM/コールドカソードイオン銃
用途／実績例	サンプルクリーニング照射試験イオンビームスパッタ半導体露光装置用EUVミラーの微小領域精密除去加工に使われたイオン銃の技術をこの製品にフィードバックしています。

お問い合わせ

取扱企業コールドカソードイオン銃

株式会社オメガトロン

・イオン銃、電子銃の設計製作・イオン・電子ビームの輸送系、中和器の設計製作・特殊加熱冷却装置、分析装置、検出器類の設計製作・電子ビーム溶接加工品電子銃・イオン銃はもちろん、真空チャンバー等の周辺機器も電子・イオン・放射線の振舞いを考慮した設計で対応いたします。弊社オリジナルのアイデアと技術を生かした、国公立研究機関との共同研究開発も豊富です。（JSTさきがけ、モデル化、イノベーション等）