ジャパンクリエイト株式会社 ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

基本情報ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【特徴】
○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置
○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供（フープ対応可）

【仕様】
○ウエハーサイズ：～φ300mm
○洗浄液：有機、アルカリ、酸
○純水リンス：O3＋純水、CO2＋純水
○搬送機構：クリーンロボット
○超音波：メガソニック
○乾燥：スピン、N2ブロー、ホットプレート
○オプション：ブラシ洗浄、高圧ジェット

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取扱企業ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

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