ジャパンクリエイト株式会社 スピンドライヤー SFH type
- 最終更新日:2012-08-22 14:45:08.0
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SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。
特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。
蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。
詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報スピンドライヤー SFH type
【特徴】
○蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵
→クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が向上
○卓上型で本体が軽量なため移動が容易
○本体もチャンバーもPVCで出来ており、錆びる事がありません
【仕様】
○型式:SFH-30・50・70・100・120・150
○収納キャリア:2個又は4個
○回転数:800~1500rpm
○蓋:PVC
○蓋開閉:エアーシリンダー
○電源:AC-100V 20A
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取扱企業スピンドライヤー SFH type
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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