ジャパンクリエイト株式会社 スピンドライヤー SFシリーズ
- 最終更新日:2014-06-23 14:13:28.0
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SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。
操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。
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基本情報スピンドライヤー SFシリーズ
【特徴】
○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用
○コンパクトな卓上型の乾燥用
○操作は極めて簡単
→ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけ
○安全なスピンドライ仕上げを実行
【仕様】
型式:SF-300型スピナー
○ウエハーサイズ:3インチ~5インチ
○回転盤:直径300m/m PVC製
○回転速度:乾燥回転0~2000rpm(可変)
○乾燥:Dry N2ブロー(0~2000rpm可変)
○外形寸法:450W×500D×450H PVC製
○電源:AC 100V 4A
型式:SF-600型スピナー
○ウエハーサイズ:4インチ~8インチ(6インチで6枚処理)
○回転盤:直径600m/m PVC製
○回転速度:乾燥回転0~1800rpm(可変)
○乾燥:N2ブロー(0~2000rpm可変)
○外形寸法:650W×650D×500H PVC製
○電源:AC 100V 6A
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取扱企業スピンドライヤー SFシリーズ
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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