株式会社魁半導体 面型大気圧プラズマ

世界初の面状に大気圧プラズマを生成する製品です。

面型大気圧プラズマは、世界初の面状に大気圧プラズマを生成する事が可能で、京都大学酒井先生が発明した技術を製品化しました。熱によるダメージほとんど無く、熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではないので、処理対象物へ電荷のダメージを与えません。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

基本情報面型大気圧プラズマ

【特長】
○300mm四方への均一処理を実現
→面状にプラズマを生成するので、パッチ処理が可能
○熱によるダメージが殆どなし
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能
○コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではない
→処理対象物へ電荷のダメージなし
○あらゆるガスをプラズマ化
○オプション
→R to R等の搬送機構、各種コーター
○デモ処理、装置のレンタルも可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

価格情報 お問い合わせください。
納期 お問い合わせください
※お問い合わせください。
用途/実績例 【用途】
○表面改質:各種張り合わせ塗装の前処理
○表面改質:ボンディング性能の向上
○表面改質:ガラス、フィルム、樹脂の濡れ性向上
○クリーニング:ガラス、フィルム、樹脂、セラミックス、無機材の洗浄、メッキの前処理、電子デバイス基板の洗浄など

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

取扱企業面型大気圧プラズマ

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株式会社魁半導体

・液体ソースを用いた堆積装置、表面改質装置等を含むプラズマを用いた各種半導体製造装置の開発、および製造販売 ・工業用石英ガラスの販売、および加工 ・委託研究による半導体製造装置の開発および製造販売 ・堆積代行、エッチング代行 ・半導体プロセスのコンサルティング業務

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