株式会社テクノビジョンフィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

最終更新日：2023-05-09 14:26:32.0
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プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置

【FM-664シリーズ】は、プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。

ウェハーサイズは、下記２タイプを用意
■FM-6648：8インチまで
■FM-6643：12インチまで

シリコンウェハ、ダイシングフレームに各種テープを気泡なしで瞬時に貼りつけることができる装置。プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発。プリカットテープ専用装置、ノーマルテープ専用装置として使用できるだけでなく、下記の用途に対応できる万能装置。

基本情報フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

■特長
・貼付け圧力、スピード、温度など諸条件設定可
・ノーマルテープの貼付けピッチ可変
・テンションフリー貼付け
・バブルフリー貼付け
・表面非接触貼付け対応可
・静電気対策装置
・小型、軽量、小フットプリント

■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。また、1台2役の装置となります。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	FM-6648
用途／実績例	■用途・ダイシング用途プリカットテープとノーマルテープ共用・ダイシング用プリカットテープ専用・ダイシング用ノーマルテープ専用・プリカット DAF・ダイシング一体型テープ・ノーマル DAF・ダイシング一体型テープ・DAF単体テープ・バックグラインドテープ／BGテープ・表面保護テープ・裏面保護テープ・機能性フィルム(レジストフィルム、CSPフィルム封止、アンダーフィルフィルム、その他) 【ダイシング用途】ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。【保護（バックグラインド／BG）用途】ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。【その他】フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。（DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等）

ラインナップ

型番	概要
FM-6648	8インチまで｜装置寸法：1,220mm（W）x 660mm（D）x 1,620mm（H）
FM-6643	12インチまで｜装置寸法：1,710mm（W）x 975mm（D）x 1,570mm（H）

カタログフィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

取扱企業フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

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■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■ＦＰＤ製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。【洗浄装置関連】・カセット・キャリア洗浄装置・フォトマスク洗浄装置・全自動マスク洗浄装置／マスク洗浄機・簡易洗浄ユニット・紫外線オゾン洗浄装置・超純水用・エアー用加熱装置【スーパークリーンヒーター】・超純水用加熱ヒーター・クリーン加熱ヒーター・簡易タイプ温度コントローラー【後工程組立関連】・テープマウンター／ウェハーマウンター（ウエハーマウンター）・ウェハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置・UVフィルム硬化装置／紫外線フィルム硬化装置・グリップリング／ウェハー収納ケース ※日本全国および海外（台湾、中国、欧米）にも対応。詳細は、お気軽にお問合せ下さい。