丸菱実業株式会社 高性能バリアブルリークバルブ ZLVMシリーズ

高性能バリアブルリークバルブ ZLVMシリーズ http://www.ipros.jp/public/product/image/75e/2000092034/IPROS2355071214436676678.png 【主な特長】 ○ガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際、 微小なガスフローを制御する ○再現性よく高精密なガスコントロールを実現 →バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの 材質・構造を工夫することにより再現性よく、高精密な ガスコントロールを実現 ○調節範囲:1×104 ~ 1×109 Pa ○フランジ:ICF34回転or固定、ICF70回転or固定 ●詳しくはお問い合わせください。 丸菱実業株式会社 機械部品 > 配管部品 > バルブ ZLVMシリーズ - 詳細はお問い合わせ下さい。
バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。

高性能バリアブルリークバルブ ZLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質・構造を工夫することにより、再現性よく、高精密なガスコントロールを実現しました。詳しくはお問い合わせください。

基本情報高性能バリアブルリークバルブ ZLVMシリーズ

【主な特長】
○ガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際、
微小なガスフローを制御する
○再現性よく高精密なガスコントロールを実現
→バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの
材質・構造を工夫することにより再現性よく、高精密な
ガスコントロールを実現
○調節範囲:1×104 ~ 1×109 Pa
○フランジ:ICF34回転or固定、ICF70回転or固定

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発売日 取扱い中
型番・ブランド名 ZLVMシリーズ
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カタログ高性能バリアブルリークバルブ ZLVMシリーズ

取扱企業高性能バリアブルリークバルブ ZLVMシリーズ

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【特徴】 ○建設機械、プラスチック加工機械、包装荷造機械、電子電気計測機作業用ロボット、電子応用装置、コンピューター通信機器部品等の国内販売、並びに輸出入 ○半導体製造装置及び部品の国内販売、並びに輸出入 ○航空機用部品、自動車、オートバイの国内販売、並びに輸出入 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをご覧ください。

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