バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。
高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質・構造を工夫することにより、再現性よく、高精密なガスコントロールを実現しました。詳しくはお問い合わせください。
基本情報高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズ
【主な特長】
○ガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際、
微小なガスフローを制御する
○再現性よく高精密なガスコントロールを実現
→バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの
材質・構造を工夫することにより再現性よく、高精密な
ガスコントロールを実現
○調節範囲：1×104 ～ 1×109 Pa
○フランジ：ICF34回転or固定、ICF70回転or固定
●詳しくはお問い合わせください。
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| 型番・ブランド名 | ＺLVMシリーズ |
| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせ下さい。 |
カタログ高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズ
取扱企業高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズ
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