薄膜膜厚・ヤング率測定装置 SW3300 日本セミラボ

薄膜膜厚・ヤング率測定装置

非接触、非破壊でウェハー基板上の薄膜膜厚、膜のヤング率、
ポアソン比を測定することができる。

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基本情報薄膜膜厚・ヤング率測定装置 SW3300

パルスレーザーを薄膜表面に　照射し、薄膜上で熱に変換されたエネルギーが
薄膜を熱膨張させる。
局所的に膨張した薄膜表面では音響振動が発生する。この音響振動の周波数
を物理モデルに導入し薄膜の膜厚やヤング率、ポアソン比を算出する。

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	SW-3300
用途／実績例	・膜厚測定スループット: 　　55 枚/ 1 時間（1 パラメータ測定）　　9 点測定（パターン認識ありの場合）光学系・繰り返し再現性σ: 　　膜厚: 0.25％　　ヤング率: 0.5％（Low-k 膜）・光学系: 　　プローブスポットサイズ: 15×30 μm　　　励起音響波長: 2×11 μm ・ロードポート　　FOUP, SMIF, or OC; dual ・ミニエンバイロメント　　Class 1000 のクリーンルーム環境でClass 1 対応・オートメーション　　GEM 300, SEMI 300mm, SEMI S2-0200, and CE 等に準拠

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取扱企業薄膜膜厚・ヤング率測定装置 SW3300

日本セミラボ株式会社新横浜本社

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