高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。
半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。
【材料】
高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS
【特徴】
・高温から低温プロセスまで幅広いユーザーニーズに対応
・高純度、高強度、高耐食性
・高温での使用が可能（～1350℃）
・パーティクル発生を抑制
製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化けい素膜をコーティングしたグレードも提供しており、特に、精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスの品質、歩留向上にも貢献しています。
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基本情報炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」
高純度炭化ケイ素を主成分とするTPSSはクアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。TPSS製品は、高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもっており、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化ケイ素膜をコーティングしたグレードも提供しており、幅広いユーザーニーズに対応しています。特に精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスでの品質、歩留向上にも貢献しています。
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| 用途／実績例 | 【用途】 ・半導体製造プロセス関連製品（炉芯管、均熱管、ボート、細管、断熱板、部品等） 【納入実績】 ・国内半導体デバイスメーカー ・国内半導体製造装置メーカー ・国内シリコンウェーハメーカー |
取扱企業炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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