株式会社SPD研究所 SPD薄膜形成装置 KM-300

SPD薄膜形成装置 KM-300 http://www.ipros.jp/public/product/image/ae6/2000095443/IPROS8156614165931882474.JPG 【主な特徴】 ○300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用。 ○最大400mm×400mmの範囲に、複数ノズルでX、Y軸方向に移動噴霧が可能。 ○下方向への強力排気と粉末分離システム。 ○反応室の内壁はセラミック成膜されており、取り外して洗浄可能。 ○爆発性ガス捕集システム。 ○内蔵タッチパネルで自動運転が可能。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。 株式会社SPD研究所 科学・理化学機器 > 理化学機器 > 分離装置 KM-300 -
SPD薄膜形成装置 KM-300 製品画像

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取り外し・自動運転が可能な強力排気と粉末分離システム!

SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

基本情報SPD薄膜形成装置 KM-300

【主な特徴】
○300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用。
○最大400mm×400mmの範囲に、複数ノズルでX、Y軸方向に移動噴霧が可能。
○下方向への強力排気と粉末分離システム。
○反応室の内壁はセラミック成膜されており、取り外して洗浄可能。
○爆発性ガス捕集システム。
○内蔵タッチパネルで自動運転が可能。

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

価格 -
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発売日 2012-01-01 00:00:00.0
型番・ブランド名 KM-300
用途/実績例 詳しくはお問い合わせ下さい。
よく使用される業種 産業用機械、産業用電気機器、製造・加工受託、その他製造

カタログSPD薄膜形成装置 KM-300

SPD薄膜形成装置 KM-300

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SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

取扱企業SPD薄膜形成装置 KM-300

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株式会社SPD研究所

●薄膜部品製造機器の製造販売 ●薄膜応用電気機器の製造販売 ●電子機器薄膜部品の製造販売 ●次世代太陽電池評価装置の製造販売 ●電子機器薄膜部品及びその応用に関する受託研究 等

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