株式会社SPD研究所 SPD薄膜形成装置 KM-300
- 最終更新日:2012-03-28 18:09:53.0
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取り外し・自動運転が可能な強力排気と粉末分離システム!
SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
基本情報SPD薄膜形成装置 KM-300
【主な特徴】
○300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用。
○最大400mm×400mmの範囲に、複数ノズルでX、Y軸方向に移動噴霧が可能。
○下方向への強力排気と粉末分離システム。
○反応室の内壁はセラミック成膜されており、取り外して洗浄可能。
○爆発性ガス捕集システム。
○内蔵タッチパネルで自動運転が可能。
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
価格情報 |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | KM-300 |
用途/実績例 | 詳しくはお問い合わせ下さい。 |
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