株式会社SPD研究所 SPD薄膜形成装置 KM-300

取り外し・自動運転が可能な強力排気と粉末分離システム!

SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

基本情報SPD薄膜形成装置 KM-300

【主な特徴】
○300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用。
○最大400mm×400mmの範囲に、複数ノズルでX、Y軸方向に移動噴霧が可能。
○下方向への強力排気と粉末分離システム。
○反応室の内壁はセラミック成膜されており、取り外して洗浄可能。
○爆発性ガス捕集システム。
○内蔵タッチパネルで自動運転が可能。

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

価格情報 -
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型番・ブランド名 KM-300
用途/実績例 詳しくはお問い合わせ下さい。

カタログSPD薄膜形成装置 KM-300

取扱企業SPD薄膜形成装置 KM-300

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株式会社SPD研究所

●薄膜部品製造機器の製造販売 ●薄膜応用電気機器の製造販売 ●電子機器薄膜部品の製造販売 ●次世代太陽電池評価装置の製造販売 ●電子機器薄膜部品及びその応用に関する受託研究 等

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