エヌビーエス株式会社 製造装置用大容量RF同軸コネクタ13.56Mhz~
- 最終更新日:2012-08-27 19:51:59.0
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製造装置の種類の中でもエッチャーやCVD等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット(RF電源~マッチングボックス~プロセスチャンバー等)を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。
その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトップメーカーに多く使用されております。
また、コンタクトスプリングは安定した多面接触を可能とし、作業者が変更した場合でも安定した接触をワンタッチにて接続できることから、満足頂けるコネクタを提供させて頂いております。また、一般市販品においてはお客様の必要な容量や形状を万足するコネクタがないことが多々御座いますが、NBSではご要望に応じた大容量同軸コネクタを提供させて頂いております。
基本情報製造装置用大容量RF同軸コネクタ13.56Mhz~
製造装置の種類の中でもエッチャーやCVD等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット(RF電源~マッチングボックス~プロセスチャンバー等)を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。
その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトップメーカーに多く使用されております。
また、コンタクトスプリングは安定した多面接触を可能とし、作業者が変更した場合でも安定した接触をワンタッチにて接続できることから、満足頂けるコネクタを提供させて頂いております。また、一般市販品においてはお客様の必要な容量や形状を万足するコネクタがないことが多々御座いますが、NBSではご要望に応じた大容量同軸コネクタを提供させて頂いております。
価格情報 |
要相談 ご要望の仕様により価格が異なりますので、お気軽にご相談ください。 |
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納期 |
お問い合わせください
※仕様や数量によって変動しますので、お気軽にご相談ください。 |
用途/実績例 | 半導体製造装置(エッチャ-、CVD等)、FPD用製造装置、PV用製造装置、RF電源、マッチングボックス、研究開発品等 |
カタログ製造装置用大容量RF同軸コネクタ13.56Mhz~
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