軽接触式気化器 VU-900
軽接触式気化器 VU-900 http://www.ipros.jp/public/product/image/737/2000105863/IPROS1291685784969806867.jpg 気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、 効率よく気化が可能 軽接触式気化器 【特徴】 ○液体を気化器の器壁(金属製)に接触する機会が少なく、   (軽接触)効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による   高効率気化 ○液体マスフローメータLM-2000Aシリーズとの組合せにより、   液体材料を精密流量制御し、効率良く気化(US PAT.5372754) ○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器 ○プリカーサ1種類・ソルベント1種類、   合計2種類の液体を混合気化(VU-D920) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 有限会社フリーダム 制御・電機機器 > プロセス制御機器 > 流量制御 VU-900 お気軽にお問い合わせください。
  • High-kや各種メタル原料に適した気化器です
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    軽接触式気化器 VU-900

基本情報軽接触式気化器 VU-900

気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、
効率よく気化が可能 軽接触式気化器

【特徴】
○液体を気化器の器壁(金属製)に接触する機会が少なく、
  (軽接触)効率よく気化
○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による
  高効率気化
○液体マスフローメータLM-2000Aシリーズとの組合せにより、
  液体材料を精密流量制御し、効率良く気化(US PAT.5372754)
○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器
○プリカーサ1種類・ソルベント1種類、
  合計2種類の液体を混合気化(VU-D920)

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価格

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価格帯

納期

1ヶ月以内
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発売日

取扱い中

型番・ブランド名

VU-900

用途/実績例

【用途】
○半導体製造プロセス用の各種液体の気化供給
○CVD,酸化・拡散用途

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

よく使用される業種

化学、ガラス・土石製品、樹脂・プラスチック、鉄/非鉄金属、産業用機械、機械要素・部品、電子部品・半導体、光学機器、自動車・輸送機器、製造・加工受託

カタログ軽接触式気化器 VU-900

  • 【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
    液体を気化器の器壁(金属製)に接触する機会が少なく(軽接触)効率よく
    気化。(軽接触式気化器)
    アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による高効率気化。

取扱会社軽接触式気化器 VU-900

パルスレーザーデポジション装置(PLD)をはじめリチウム蒸着装置、有機デバイス研究用蒸着装置等、研究用の各種成膜装置を製作しています。 また、1000℃以上に短時間で加熱できるレーザー加熱、1200℃加熱できる真空用ランプ加熱、酸素雰囲気で加熱できるSiCヒータ、超高真空キャリアケース等ユニークな真空機器を提供しています。

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