ヒューグルエレクトロニクス株式会社 全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』
- 最終更新日：2019-03-29 18:48:13.0
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高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠
『UPC-12500 SORA』は現代の半導体製造には不可欠な高品質・
高スループット・省エネをコンセプトに改良された全自動FOUP洗浄システムです。
SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠。
自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に
対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。
【特長】
■スループットの向上
■省エネ対策
■省フットプリント設計
■GEM300対応
■メンテナンス性の向上
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』
【仕様(抜粋)】
■寸法：2,200(W)×3,230(H)×2,500(D) mm
■重量：3,200kg（純水タンク満水時）
■電源：3相AC 200V±10％ 定格26.0kVA
■純水：15L/min
■CDA1（乾燥用）：4,000～4,500L/min 0.7±0.05MPa
■CDA2（駆動用）：500L/min 0.7±0.05MPa
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』
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以下の製品の開発・製造・販売及び輸出入 ■半導体及びフラットパネル製造関連機器 ■静電気除去装置 (イオナイザー) ・静電気測定機器 ■ウェハ及びウェハ容器洗浄装置 ■FPD/ガラス超音波洗浄装置 上記製品の開発・製造・販売及び輸出入
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