株式会社渡辺商行 シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD) 「AMAX」シリーズ

シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD) 「AMAX」シリーズ http://www.ipros.jp/public/product/image/e47/2000108677/IPROS4373989181217728971.jpg 連続式APCVD装置「AMAX」シリーズ ・成膜方法:連続式成膜 ・ウェハサイズ:6-12”φ(その他サイズはお問合せください) ・特長:高い生産性     高い膜厚/不純物濃度 制御性     高い成膜速度     多層膜成膜     シンプルメンテナンス     低CoO(低ランニングコスト) 株式会社渡辺商行 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > CVD装置
量産対応 NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 連続式APCVD装置

 「AMAX」シリーズは、半導体用層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピウェハ用バックシール等の成膜を目的とした、連続式常圧CVD(APCVD)装置です。

 8”・12”のウェハにも対応しており、連続式のメリットである量産性を確保しつつ、高品質な成膜が可能です。

 その他、目的別に装置ラインナップを揃えており、デモ装置によるサンプル成膜も可能です。詳しくはお問合せください。

基本情報シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD) 「AMAX」シリーズ

連続式APCVD装置「AMAX」シリーズ

・成膜方法:連続式成膜
・ウェハサイズ:6-12”φ(その他サイズはお問合せください)
・特長:高い生産性
    高い膜厚/不純物濃度 制御性
    高い成膜速度
    多層膜成膜
    シンプルメンテナンス
    低CoO(低ランニングコスト)

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・膜種:SiO2(NSG)・PSG・BPSG
    ※NSG:Non doped Silicate Glass(シリコン酸化膜)
     PSG:Phospho-Silicate Glass(リンを含んだシリコン酸化膜)
     BPSG:Boro-Phospho-Silicate Glass(ボロン(ホウ素)とリンを含んだシリコン酸化膜)

・原料ガス種:SiH4/O2系

・用途:
 ・エピタキシャルウェハ用バックシール(NSG)
 ・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG)
 ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG)
 ・拡散バリア/ハードマスク(NSG)
 ・エピタキシャルウェハ用バックシール(NSG)

・納入実績
 ・国内外 半導体デバイスメーカー
 ・国内外 シリコンウェハメーカー

カタログシリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD) 「AMAX」シリーズ

取扱企業シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD) 「AMAX」シリーズ

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【関連製造部門】 ・(株)ワコム製作所 石英ガラス製品(ASM Epsilion石英部品、各種加工品)、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ・(株)トムコ フォトマスク洗浄装置、ウエーハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ・(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置 【理科医療器材】 旭硝子(株)製品パイレックスガラス製品、組織培養製品、その他理化学機器製品等 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター&クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、ソーラーシミュレーター、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【研究開発部門】 (株)ワコム研究所 MO-CVDによる各種誘電体薄膜の開発 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品(石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連、超高圧水銀ランプ

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