アルカリ対応スピン洗浄装置マック産業機器

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。

基本情報アルカリ対応スピン洗浄装置

洗浄ワーク　
●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　
●8,12インチウエハ各種ワーク対応（オプション）
洗浄水
●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水
対応回転数　　　MAX　3000rpm
純水供給部　　　0.3Mpa　以上
N2ブロー乾燥　N2ブロー乾形寸法　　　　
外形寸法　　　　W1180×D1350×H1610

価格情報	16000000 ご参考価格です。詳細はお問合せ下さい。
価格帯	1000万円 ~ 5000万円
納期	お問い合わせください ※受注後4ヶ月
型番・ブランド名	ME500-1100
用途／実績例	●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ各種ワーク対応（オプション）

カタログアルカリ対応スピン洗浄装置

アルカリ対応スピン洗浄装置『ME500-1100』

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取扱企業アルカリ対応スピン洗浄装置

マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

１．産業用ロボットの製造・販売。２．半導体試験装置、半導体検査及び半導体搬　　送装置を含む半導体製造装置の製造販売３．液晶用搬送装置の製造、販売４．枚葉式スピン洗浄装置、スピンエッチング　　装置の製造、販売５．太陽電池用シリコンウエハセパレーター　　薄膜シリコンガラスエッチング　　CIGS用ガラス基板洗浄装置　　　等の製造、販売。