VISTA株式会社 イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ http://www.ipros.jp/public/product/image/5af/2000110002/IPROS4187195301189421622.jpg TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 2. 独特なイオン源デザイン(特許)で非常に小さなサイズながら 3.大きなイオン電流が広範囲に得られます 4.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70~80℃)基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます 8.パルスモード/連続モード/基板クリーニングモード/ガスパージモードの運転切替が可能 9.RS232を装備し外部PCからコントロールが可能です 10.イオンカレントモニタをオプションで用意しております 11.イオン電流のフィードバック制御が可能 VISTA株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 蒸着装置 Mni-Gun(800W)、XIAD(1000W)、ST55(1500W)、ST3000(3000W)
イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着(IAD)技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。

基本情報イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

TELEMARK製イオンソースシリーズは、
1. 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい
2. 独特なイオン源デザイン(特許)で非常に小さなサイズながら
3.大きなイオン電流が広範囲に得られます
4.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70~80℃)基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです
5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能
6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能
7.スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます
8.パルスモード/連続モード/基板クリーニングモード/ガスパージモードの運転切替が可能
9.RS232を装備し外部PCからコントロールが可能です
10.イオンカレントモニタをオプションで用意しております
11.イオン電流のフィードバック制御が可能

価格帯 100万円以上 500万円未満
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Mni-Gun(800W)、XIAD(1000W)、ST55(1500W)、ST3000(3000W)
用途/実績例 蒸着装置等

ラインナップ

型番 概要
Mini-Gun 800W, 4A, 90~225eV, ※UHV仕様
XIAD 1000W, 5A, 225eV
ST55 1500W, 7A, 225eV
ST3000 3000W, 10A, 300eV

詳細情報イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

Mini-Gun
800W,4A,90~225eV UHV仕様

XIAD
1000W, 5A, 225eV

ST55
1500W, 7A, 225eV

取扱企業イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

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VISTA株式会社

1.真空製品の製造販売:真空計、真空ポンプ、イオンポンプ、クライオポンプ、極高真空排気装置、極高真空対応チャンバーおよび部品、真空計校正装置 2.真空技術、真空製品開発、マーケティングに関するコンサルティング 3.真空製品の開発、設計、試験の受託

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