ジャパンクリエイト株式会社 スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

基本情報スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

【特徴】
○現像液温度精度±1℃
○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応
○高精度のロボット採用により、高スループット化実現

【仕様】
○対象ワーク：Siウェハー、GaAs、ガラスマスク、液晶ガラス、セラミック
○ワークサイズ：φ2"～□150mm
○チャンバー径、材質：φ400mm　SUS304
○スピンモーター：ACサーボモーター（200W）
○回転数範囲：0～5000rpm （オプション最大8000rpm）
○回転数表示：デジタル表示
○本体材質、寸法：SS＋焼き付け塗装　W1100×D1000×H1440mm
○レシピ設定：タッチ画面による簡易レシピ設定
○重量：300kg
○電源：AC100V　1.5KVa 50/60Hz±10％以内
○付帯設備
→ドライエアー：5kgf/cm²以上　φ6mmワンタッチ継ぎ手
→薬液、純水：2kgf/cm²以上　φ6mmスウェージロック
→N2：5kgf/cm²以上　φ6mmスウェージロック
○オプション：ブラシノズル関係、薬液温調器、ノズル、消化器等

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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カタログスピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

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取扱企業スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

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