ジャパンクリエイト株式会社 スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

基本情報スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

【特徴】
○カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、
　アライナー、スプレー現像を自動で行う装置
→工程の選択も可能
○ローダー、アンローダーも同一側
→オペレーター1人で作業が可能
○工程間の搬送は多関節ロボットを採用
○対象ワーク：200mm□基板又はφ300mm基板に適用

【仕様】
○外形 W2300×D2300×H1850
○ローダー：1カセット収納
○カップ：SUS304テフロンコート
○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式
○圧送タンク：レジストボトル用
○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ
○気液分離タンク：SUS304
○露光機：オプション
○現像用カップ：SUS304テフロンコート
○ベーク炉：ホットプレート、真空チャンバー
○回転数：MAX3000rpm
○モーター：400W AC サーボモーター
○搬送機：多関節ロボット
○ハンガー：エッジクランプ方式
○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方式
○アンローダー：1カセット収納

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取扱企業スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

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