ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置マック産業機器

3次元実装用マニュアルタイプのウエハケミカル洗浄装置です！

処理枚数は1-3枚の少量対応の為、研究・実験の用途に最適です。
100V電源で設置に制約がありません。
コンパクトなので１ｍ2（平方メートル）あれば設置可能と経済的です。
純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。
ケミカル温度をコントロールが可能です。
比抵抗計によりリンス効果を判断します。
ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。
将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。
エアーガン付です。
シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。

基本情報ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置

・装置寸法：W1300×D1150×H2110　
・電源：AC100V　30A
・ケミカル槽：２種類のケミカルに対応　
・槽容量は９ℓ　下部タンクと循環方式
純水リンス：カスケード方式による
２段リンス　最終槽に比抵抗計を装備

・ケミカルタンク：温調装置　液面センサー付
・液受用シンク：エアーガン付
・装置内ケミカル槽シャワーノズル付

価格情報	お問合せ下さい
価格帯	500万円 ~ 1000万円
納期	お問い合わせください ※受注後3ヶ月
型番・ブランド名	ME-100
用途／実績例	3次元実装用8インチウエハのマニュアル型洗浄装置

取扱企業ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置

マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

１．産業用ロボットの製造・販売。２．半導体試験装置、半導体検査及び半導体搬　　送装置を含む半導体製造装置の製造販売３．液晶用搬送装置の製造、販売４．枚葉式スピン洗浄装置、スピンエッチング　　装置の製造、販売５．太陽電池用シリコンウエハセパレーター　　薄膜シリコンガラスエッチング　　CIGS用ガラス基板洗浄装置　　　等の製造、販売。