半導体用特殊材料ガス等、各種ガスを供給しメンテナンス性等を考慮した装置
高気密性「ガス供給ユニット」は、半導体用特殊材料ガス等、各種ガスを供給する装置です。ボンベボックスを始めとし各種ガスの供給配管、自動供給、気密性、クリーン度、安全性、メンテナンス性等を考慮した装置となっております。取扱い時の安全性が高く、十分なクリーン度を保ちます。供給配管の高い気密性を保ち、ガス漏洩検知器等お客様に合わせたオプションを準備しております。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
基本情報高気密性 「ガス供給ユニット」
【特長】
○取扱い時の安全性が高い
○十分なクリーン度を保持
○供給配管の高い気密性を保持
○ガス漏洩検知器等お客様に合わせたオプションを準備
○各種ガスの供給配管、自動供給、気密性、クリーン度、安全性、メンテナンス性等を考慮
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