サンオイルクリーナー
真空ポンプの油よりパーティクル・水分・酸を同時に除去します。オイルは常時新油相当に維持され、真空ポンプの故障が防止できます。
基本情報サンオイルクリーナー
キー技術はエレメントです。イオン交換繊維を三次元成型しており、低圧損で大量の微細粒子を除去します。併せて中和機能と水分吸水機能を備えています。
価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
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納期 | ~ 1ヶ月 |
型番・ブランド名 | サンオイルクリーナー SUN-60BE |
用途/実績例 | 真空ポンプ用オイルクリーナー インプラ、CVD、エッチング、単結晶引上げ炉、熱処理炉、焼成炉、浸炭炉、窒化炉 |
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