12インチ円形ウエハ材向け 「ウエハ洗浄装置」
12インチ円形ウエハ材向け 「ウエハ洗浄装置」 http://www.ipros.jp/public/product/image/11d/2000114013/IPROS4727101821095529834.jpg 【特長】 ○ウエハ洗浄装置です。 ○12インチ円形ウエハ材向けです。 ○塗布機本体寸法:LxDxH=1,175mmx700mmx1,100mm(参考寸法) ○アルミ押出形材の骨組みで頑丈です。 ○直接吸気設計で異臭発生を低減します。 ○プロセス作業工程 → ウエハ置き→手動伝送→洗浄→N2吹付け乾燥→振り乾燥→手動伝送→ウエハ置き ○回転速度:0ー1800RPM ○コントロールシステム:PLC三菱自動化コントローラ採用 ○操作界面:PCタッチコントロール界面 ○安全保護 →漏電遮断保護装置 →機械底部の液漏れ検知装置 →コントロールボックス正圧装置 →真空モーターが設定値に達すると稼働します。 →誤触防止のEMO装置緊急押しボタンスイッチ付き。 ○手動伝送タイプと自動伝送タイプがございます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 M&R Nano Technology Co.,Ltd.(科毅科技(股)有限公司) 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > ウエハ加工/研磨装置 -
  • PVC製の透明窓で作業環境を確認しやすい! 安全保護装置も充実していて、安心して作業できます。
    M&R Nano Technology Co.,Ltd.(科毅科技(股)有限公司)
    12インチ円形ウエハ材向けの「ウエハ洗浄装置」です。
    外観材質はSUS304材で組立られており、骨組はアルミ押出形材を利用していてとても頑丈です。
    PVC製の透明窓を採用しているので、作業状況が把握しやすくなっています。直接吸気設計で異臭発生を低減します。
    製品には手動伝送タイプと自動伝送タイプをご用意しております。

    詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報12インチ円形ウエハ材向け 「ウエハ洗浄装置」

【特長】
○ウエハ洗浄装置です。
○12インチ円形ウエハ材向けです。
○塗布機本体寸法:LxDxH=1,175mmx700mmx1,100mm(参考寸法)
○アルミ押出形材の骨組みで頑丈です。
○直接吸気設計で異臭発生を低減します。
○プロセス作業工程
→ ウエハ置き→手動伝送→洗浄→N2吹付け乾燥→振り乾燥→手動伝送→ウエハ置き
○回転速度:0ー1800RPM
○コントロールシステム:PLC三菱自動化コントローラ採用
○操作界面:PCタッチコントロール界面
○安全保護
→漏電遮断保護装置
→機械底部の液漏れ検知装置
→コントロールボックス正圧装置
→真空モーターが設定値に達すると稼働します。
→誤触防止のEMO装置緊急押しボタンスイッチ付き。
○手動伝送タイプと自動伝送タイプがございます。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。


価格

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価格帯

納期

発売日

取扱い中

用途/実績例

【用途】
12インチ円形ウエハ材向けのウエハ洗浄。

詳しくはお問い合わせください。

よく使用される業種

産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、製造・加工受託

カタログ12インチ円形ウエハ材向け 「ウエハ洗浄装置」

  • 12インチ円形ウエハ材向けの「ウエハ洗浄装置」です。
    外観材質はSUS304材で組立られており、骨組はアルミ押出形材を利用していてとても頑丈です。
    PVC製の透明窓を採用しているので、作業状況が把握しやすくなっています。直接吸気設計で異臭発生を低減します。
    製品には手動伝送タイプと自動伝送タイプをご用意しております。

    詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

取扱会社12インチ円形ウエハ材向け 「ウエハ洗浄装置」

M&R Nano Technology Co.,Ltd.(科毅科技股份有限公司)は、2001年に創立した光電設備メーカーであり、フォトリソグラフィ工程製品および材料の製造に力を注いでおります。 製品としてマスクアライナー設備、UV光源、スピンコーター、高感度性EMCCDカメラ、フォトマスクを製造しております。 弊社は機械組立工場の生産ラインにてマスクアライナーの設計・製造をおこなっており、クラス1000等のクリーンルームを設置して、良い環境でフォトマスクの製作とプロセス設備の試験をおこなっております。

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