次世代のデバイス作製技術として注目を集めるμCP法対応!
マイクロコンタクトプリンター MP200は次世代のデバイス作製技術として注目を集めるμCP法(Microcontact Printing)に対応する実験・研究支援装置です。μCP法はPDMSスタンプを用いることにより、チオール分子等による自己組織化単分子膜(SAM)をパターニングするだけでなく、有機半導体材料等の機能性材料を従来の印刷法よりも高精細にパターニングできることから、有機エレクトロニクスやナノバイオ素子等の作製技術として研究開発が進められております。MP200では、微細パターン作製時に発生する欠損を、産総研での研究成果をもとにした泡咬み防止機構を採用したことにより大幅に低減いたしました。転写プロセスステージは高精度圧力センサおよびZ軸サーボコントロールでコンタクトスピード、コンタクト圧力、距離、時間をプログラム制御可能です。操作はタッチパネルとジョイスティックを用いて、直感的に使い易い装置となっております。
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基本情報マイクロコンタクトプリンター MP200
【特徴】
○蛍光色素材のローダミンインクを使用
○非自己組織化での微細転写を実現
○導電材料の転写による高解像度の配線パターンの作製に期待
○試料、スタンプサイズは最大φ8インチ対応
○オートアライメント機能により、高精度のオーバーレイが可能
○ジョイスティック・タッチパネルを用いて高い操作性を実現
○泡咬み防止機構を採用
→微細パターン作製時に発生する欠損を大幅に低減
○転写プロセスステージ
→高精度圧力センサおよびZ軸サーボコントロールでコンタクトスピード、
コンタクト圧力、距離、時間をプログラム制御可能
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