試料アライメント仮止め装置 MAシリーズは、表面に微小な構造物のあるフィルム、ガラス、シリコン、金属といった試料2枚を高精度で位置合わせし、密着させる機能を有する試料アライメント装置です。2枚の試料を上下に配置させ、固定基準の上側試料に対して下側の試料をXYZ∂軸方向にアライメントさせる方式です。アライメント顕微鏡には、接眼タイプ、CCDカメラ・モニタ観察タイプ、変倍タイプ、赤外線観察タイプなど各種選択が可能です。顕微鏡焦点深度を越えるギャップでもアライメント可能な画像フリーズシステムも対応できます。試料取付部は各種試料サイズに対応し、フィルム等脆弱な試料に対応するパイレックスガラス製ホルダや陽極接合装置チャンバー内での脱ガスに対応するスペーサー付き試料ホルダも製作可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報試料アライメント仮止め装置 MAシリーズ
【特徴】
○ガラス試料やフィルムとシリコン基板を精密仮固定
○試料2枚を高精度で位置合わせし、密着させる機能を有する
→表面に微小な構造物のあるフィルム、ガラス、シリコン、金属など
○2枚の試料を上下に配置させ、固定基準の上側試料に対して下側の試料を
XYZ∂軸方向にアライメントさせる方式
○アライメント顕微鏡は各種選択が可能
→接眼タイプ
→CCDカメラ・モニタ観察タイプ
→変倍タイプ、赤外線観察タイプなど
○顕微鏡焦点深度を越えるギャップでもアライメント可能
→画像フリーズシステムも対応
○試料取付部は各種試料サイズに対応
○フィルム等脆弱な試料に対応するパイレックスガラス製ホルダ
○スペーサー付き試料ホルダも製作可能
→陽極接合装置チャンバー内での脱ガスに対応
【仕様】
○最大試料サイズ：¢6インチ（上下とも）t＝2mm程度
○上下試料着脱方法：取り付け取り外し手動
○上下側試料支持：真空吸着固定
○試料仮固定：メカニカルクランプ仮固定又は接着剤固定
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