○発刊日2012年04月25日○体裁B5判上製本 264頁○価格:本体 60,000円+税 →STbook会員価格:56,952円+税
○著者:
江川 孝志 名古屋工業大学 /
纐纈 明伯 東京農工大学 /
熊谷 義直 東京農工大学 /
村上 尚 東京農工大学 /
福田 承生 東北大学/(株)福田結晶技術研究所 /
吉田 一男 旭化成(株) /
森 勇介 大阪大学 /
今出 完 大阪大学 /
丸山 美帆子 大阪大学 /
吉村 政志 大阪大学 /
岩谷 素顕 名城大学 /
河合 弘治 (株)パウデック /
小宮山 純 コバレントマテリアル(株) /
柳澤 淳一 滋賀県立大学 /
橋詰 保 北海道大学 /
中野 由崇 中部大学 /
土肥 俊郎 九州大学 /
會田 英雄 並木精密宝石(株) /
鄒 弘綱 (株)アルバック /
上村 隆一郎 (株)アルバック /
渡邉 純二 熊本大学 /
後藤 崇之 三菱重工業(株) /
井手 健介 三菱重工業(株) /
他7名
基本情報書籍【GaNパワーデバイスの技術展開】
第1章 GaNパワーデバイスの概要・特性・開発動向
第2章 GaN結晶成長技術(バルク)
1節 HVPE法によるGaN結晶育成
2節 アモノサーマル法によるGaNバルク結晶成長
3節 Naフラックス法によるGaN結晶育成
第3章 GaN結晶成長技術(エピタキシャル)
1節 MOVPE-サファイア基板上へのc面GaNの成長メカニズム
2節 ワイドストライプELO-GaN成長とデバイス応用
3節 MOVPEによる大口径GaN on Si基板の開発
4節 MOCVD-サファイア基板を要しない窒化ガリウム局所形成
第4章 GaN結晶の物性評価
1節 GaN半導体の界面準位評価
2節 AlGaN/GaNヘテロ構造の欠陥準位評価
第5章 GaN結晶加工
1節 GaN結晶基板の超精密加工技術
2節 GaNやサファイア基板のエッチング装置の開発
3節 紫外光励起による材料表面の超平滑化
4節 常温ウェーハ接合装置(GaNを1事例として)
第6章 GaNパワーデバイスの応用
価格情報 |
本体 60,000円+税 →STbook会員価格:56,952円+税 |
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価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
納期 | 2・3日 |
用途/実績例 | プラント |
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