好評につき改訂版完成! 感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製造、品質管理にかかわる方にお薦め!
○発刊日2012年03月09日○体裁B5判並製本 250頁○価格:本体 10,000円+税 →STbook会員価格:9,500円+税
○関口 淳 リソテックジャパン(株)
基本情報書籍【フォトレジスト材料の評価】
第1章 リソグラフィーの概要
第2章 フォトレジストの塗布
第3章 露光技術
第4章 露光後ベーク(PEB)と現像
第5章 g線,i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術
第6章 KrF・ArF用フォトレジストの評価技術
第7章 ArF液浸レジスト・ダブルパターニング(DP)プロセスの評価技術
第8章 EUVレジストの評価技術
第9章 ナノインプリント・プロセスの最適化とその評価
価格情報 |
本体 10,000円+税 →STbook会員価格:9,500円+税 |
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価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
納期 | 2・3日 |
用途/実績例 | 材料などのメーカー |
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