書籍【フォトレジスト材料の評価】 S&T出版

好評につき改訂版完成! 感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製造、品質管理にかかわる方にお薦め!

○発刊日2012年03月09日○体裁B5判並製本 250頁○価格：本体 10,000円＋税 →STbook会員価格：9,500円＋税
○関口淳リソテックジャパン(株)

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基本情報書籍【フォトレジスト材料の評価】

第1章リソグラフィーの概要
第2章　フォトレジストの塗布
第3章　露光技術
第4章　露光後ベーク(PEB)と現像
第5章　g線,i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術
第6章　KrF・ArF用フォトレジストの評価技術
第7章　ArF液浸レジスト・ダブルパターニング(DP)プロセスの評価技術
第8章　EUVレジストの評価技術
第9章　ナノインプリント・プロセスの最適化とその評価

価格情報	本体 10,000円＋税 →STbook会員価格：9,500円＋税
価格帯	1万円 ~ 10万円
納期	2・3日
用途／実績例	材料などのメーカー

カタログ書籍【フォトレジスト材料の評価】

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