デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer ＩＢＳ

包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ

『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な
アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。

当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに
高い再現性を誇ります。

優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが
向上します。

【特長】
■マルチガス・マルチレンジ
■高速応答性
■100％メタルシール・高純度設計
■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

【その他の特長】
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
＊マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報	－
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Transformer
用途／実績例	【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池　液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品

PDFダウンロード
お問い合わせ

取扱企業デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

株式会社ＩＢＳ

流体制御機器・周辺機器の設計・製造・販売ダイアフラムポンプ、メタルベローズポンプガス発生装置（酸素、窒素、オゾン、水素）チェックバルブ、リリーフバルブ、ニードルバルブ及び圧力制御・計測機器／流量制御・計測機器／温度制御・計測機器／特殊ポンプ／分析器等、『流れ』に関わる製品を多数取り揃えております。お気軽にお問い合わせください。