世界最小クラスのスパッタカソード単品試作から用途に合わせて製作
超高真空1インチ（小型）スパッタカソードは、世界最小クラスで単品試作から用途に合わせて製作します。製品開発の背景には研究装置の小型化、レアメタル材料の使用効率化、高品質化・高再現性・量産応用可能技術への継続性、分析・評価システムへの接続などがあります。ヘッド直接ガス導入・水冷式構造でφ1インチターゲット対応、マッチングボックス内蔵の専用RF電源付きでUHVにも対応お手持ちの真空チャンバーに容易に搭載可能です。
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基本情報超高真空1インチ（小型）スパッタカソードの開発と商品化
【特徴】
○ICFフランジ（超高真空規格フランジ）マウント構造
→既存UHVチャンバーへの接続が容易、増設が可能
○超高真空対応
→超高真空表面分析装置・評価装置との接続が可能で、高品位成膜に寄与
○ガス導入系マウント構造
→ターゲット表面にガス導入できることで、効率的で再現性の良い
プラズマ環境（密度・圧力環境）を得ることができる
→酸化・窒化物成膜などの化合物薄膜作成に優れる
○基板ダメージ提言に寄与し、スバッタ効率（成膜レート）を高められる
○バッタカソードとしてだけでなく、プラズマCVD・エッチング電極ならびに
表面改質プラズマソースとしての応用が可能
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