アペックス株式会社 非破壊ソリューション Memscan200

非破壊ソリューション Memscan200 http://www.ipros.jp/public/product/image/248/2000121619/IPROS7147006116235202482.JPG 【特徴】 ○1台の装置、そして1回の撮影で行える検査と測定 ○NIR(近赤外)においては透明な材料すべての膜厚をマッピング ○シリコン貫通膜の厚さと形状の制御 ○画像ノイズなしでのオートコントラスト調節 ○膜厚測定はシリコン最上層から行う ○膜の非平面性は画像検査(フリンジの可視化)またはキャップと  微細機械加工構造との間のエアーギャップの測定により検出 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 アペックス株式会社 測定・分析 > 検査機器・装置 > その他検査機器・装置 お問い合わせ下さい。
MEMS用メトロロジー&検査ソリューション。両面処理されたウェハに最適

MEMS微小機械加工プロセス制御向けのもっとも費用効果が高い、非破壊ソリューション。低コヒーレンス赤外線(IR)干渉分光法と赤外線画像を組み合わせた特許の光学機器を使用します。正確な膜厚および均一性マッピング、貫通シリコンキャップ空隙厚さ、段差形状、ウェハ形状の測定を行うことができます。赤外線顕微鏡法は、MEMSチップ検査に関する完璧な解決策であり、計測と検査を1回の撮影で行うことができます。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報非破壊ソリューション Memscan200

【特徴】
○1台の装置、そして1回の撮影で行える検査と測定
○NIR(近赤外)においては透明な材料すべての膜厚をマッピング
○シリコン貫通膜の厚さと形状の制御
○画像ノイズなしでのオートコントラスト調節
○膜厚測定はシリコン最上層から行う
○膜の非平面性は画像検査(フリンジの可視化)またはキャップと
 微細機械加工構造との間のエアーギャップの測定により検出

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格 お問い合わせ下さい。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。
用途/実績例 【用途】
○赤外線顕微鏡検査
○NIR(近赤外領域)においては透明な材料すべてについて
 膜厚&均一性を測定
○エアーギャップの厚さ測定
○多層MEMSデバイスの個々のレイヤ厚さ
○バウ
○段差
○フルウェハ特定評価

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

カタログ非破壊ソリューション Memscan200

取扱企業非破壊ソリューション Memscan200

アペックス株式会社

アペックスは1993年8月1日にアルカテル・バキューム・テクノロジー社及び日本アルカテル・ルーセント社と契約を結び、国内のアルカテル真空機器製品のサービス・メンテナンスを行う指定サービス店として活動しております。また、1997年1月1日には正規販売代理店契約を結び、販売活動も開始いたしました。長年の半導体製造装置生産技術を活かし、単体での製品販売のみならず、お客様のニーズに対応したトータルコーディネイトもご提案しております。

非破壊ソリューション Memscan200へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

アペックス株式会社