小数枚の加工への対応可。シリコンウエーハ以外の基板投入可能。
6インチのMEMS加工を中心に展開をしておりますが、
8インチ、12インチへの部分的なパターニングの対応も可能です。
基板サイズ、パターン仕様に応じて装置を選定します。
１枚からの対応も可能です。
フォトリソ（アライナ、KｒＦ、ＥＢ）やＷｅｔエッチング、ミリング、ＲＩＥに対応しております。
シリコン以外の基板も対応しますので、お気軽にご相談ください。
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
基本情報マスクの製作からパターニングまでの一貫製作 「パターニング」
【加工例】
○シリコン深堀
○バンプ形成
○Siフォトエッチング
○ALフォトエッチング
○Crフォトエッチング
○ITOフォトエッチング
○Siピラー形成
○CSP、WCSP
○石英フォトエッチング
○Cuフォトエッチング
○Auフォトエッチング
○リフトオフ加工
●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
| 価格情報 |
- 詳細はお問い合わせ下さい |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせ下さい。 |
カタログマスクの製作からパターニングまでの一貫製作 「パターニング」
取扱企業マスクの製作からパターニングまでの一貫製作 「パターニング」
マスクの製作からパターニングまでの一貫製作 「パターニング」へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
