試作開発に最適！半導体業界、液晶、燃料電池など多くの業界で採用されている大村技研の技術をお試しください！
KrFステッパーによる微細パターンウエーハを提供いたします。
パターンレイアウトはカスタム対応が可能です。
つなぎパターン、ダブルパターニングも可能です。
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
基本情報カスタム対応可 Φ200mm ナノパターンウエーハ
パターンサイズにつきましては、下記仕様以外にも対応可能ですので、ご相談下さい。
【パターンサイズ】
○パターン寸法
→75nm 100nm 150nm 200nm
○パターン形状
→ライン＆スペース、ピラー
○ショットサイズ
→4mm□
○基板
→合成石英、シリコンウエーハ、など
○基板サイズ
→Φ200mm
●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
| 価格情報 |
- 詳細はお問い合わせ下さい |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせ下さい。 |
カタログカスタム対応可 Φ200mm ナノパターンウエーハ
取扱企業カスタム対応可 Φ200mm ナノパターンウエーハ
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