MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置ディスク・テック

MEMS素子検査装置（メムス　微細穴深さ計測、パターン検査）

MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途に使用します。
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関連リンク - http://www.disctech.co.jp/maikurosuko-punew1.htm

基本情報MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

【特徴】
○今まで目視にて行なっていた顕微鏡検査を自動化、定量化
○検出画像を保存可能
○検査結果をマップ表示可能
○画像オートフォーカス
○欠陥検出ソフトウェア(ＯＫ,ＮＧ判断機能付き)
○ティーチングプレイバック動作
→一度教えたステージ動作を繰り返し動作
○赤外線カメラを使用しており、赤外光がシリコンを透過する原理を利用
→非破壊検査が可能

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取扱企業MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

ディスク・テック株式会社本社

・画像処理応用装置、各種画像処理検査装置を開発、設計、製作。・フォトマルを応用した製品。（放射能計測、ピンホール計測）・各種ソフトウェア（画像処理、制御、スマホアプリ）の受託開発、派遣業務。・海外製品のメンテナンス、技術サポート（特に光学技術を含んだもの、クリーンルームで使用する装置が得意としています。）・画像処理装置の販売及び技術サポート並びに画像処理に関連した光源、付帯品等の販売。・営業分野　医療機器検査装置分野、MEMS分野、半導体分野、FPD分野、光ディスク分野、　