THKプレシジョン株式会社 【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ X軸

高速、高精度位置決めを実現します! X軸ステージのストロークは6μmから700μmまでご用意しております。

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。
ストロークとして、6~700μmまでラインアップしています。

圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。
インターフェースも使い易く、制御コントローラは「アナログ入力」と「デジタル入力」の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
サンプルソフト(無償)も用意しています。
また、単品からでもカスタム対応しており、カタログ標準品以外にも真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ X軸

【特長】
○高速、高精度位置決め
○使いやすいインターフェース
○単品からカスタム対応

【X軸ステージ製品ラインアップ】
○PS1H25-006U
○PS1H35-006U
○PS1H45-012U
○PS1H60-020U
○PS1H80-030U
○PS1H80F-030U
○PS1H40F-020U
○PS1H60F-060U
○PS1L40-050U
○PS1L40-100U
○PS1L60-250U
○PS1L60-500U
○PS1L80-700U
○PS1L60F-100U
○PS1L80F-300U
○PS1L100-100U
○PS1L100-300U

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格帯 お問い合わせください
納期 ~ 1ヶ月
型番・ブランド名 ピエゾステージ ベーシックタイプ
用途/実績例 【アプリケーション例】
○HDDテスト
○半導体、液晶検査装置
○干渉計機器
○光ピックアップ検査、評価
○共焦点顕微鏡
○ナノメータポジショニング

詳しくはお問い合わせください。

カタログ【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ X軸

取扱企業【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ X軸

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THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。  また、μN~mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。  カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。

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