【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　Z軸 THKプレシジョン

圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。
Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富なラインアップで取り揃えております。

PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。
使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
サンプルソフト（無償）も用意しています。
また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.thkprecision.co.jp/product/piezo/41

基本情報【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　Z軸

【特長】
○高速、高精度位置決め
○使いやすいインターフェース
○単品からカスタム対応

【Z軸ステージ製品ラインアップ】
○PSVH35-006U
○PSVH45-012U
○PSVH60F-012U
○PSVH60-020U
○PSVH80F-030U
○PSVL45F-100U
○PSVL60F-100U
○PSVL60F-150U
○PSVL80F-300U

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【アプリケーション例】 ○HDDテスト ○半導体、液晶検査装置 ○干渉計機器 ○光ピックアップ検査、評価 ○共焦点顕微鏡 ○ナノメータポジショニング詳しくはお問い合わせください。

取扱企業【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　Z軸

THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。　また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。　カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。