THKプレシジョン株式会社 【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XYZ軸
- 最終更新日:2023-05-24 14:42:31.0
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高速、高分解能で再現性に優れた位置決めを実現。ストロークは20/20/12μmから80/80/80μmまで取り揃えています。
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。
XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。
PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。
使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
サンプルソフト(無償)も用意しています。
また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。
※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XYZ軸
【特長】
○高速、高精度位置決め
○使いやすいインターフェース
○単品からカスタム対応
【XYZ軸ステージ製品ラインアップ】
○PS3H70-020UA
○PS3H150-050UA
○PS3L100-080UA
○PS3L60-080U
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【アプリケーション例】 ○HDDテスト ○半導体、液晶検査装置 ○干渉計機器 ○光ピックアップ検査、評価 ○共焦点顕微鏡 ○ナノメータポジショニング 詳しくはお問い合わせください。 |
カタログ【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XYZ軸
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