THKプレシジョン株式会社 【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ X軸
- 最終更新日:2023-05-24 14:39:24.0
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移動テーブルの中央に開口部(透過穴)を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と組み合わせ、微細観察や高精度マッピング測定に適しています
超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。
ストローク30μmと100μmをご用意しております。
レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。
■高速、高精度スキャニング動作
圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。
微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。
■使いやすいインターフェース
制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能。
特殊環境(真空・非磁性など)のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。
※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ X軸
【特長】
○移動テーブルの中央に開口部(透過穴)を有するタイプ
○顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適
○高速、高精度スキャニング動作
○使いやすいインターフェース
○特殊環境(真空・非磁性など)にも対応
【X軸ステージ製品ラインアップ】
○PK1L60-030U
→ストローク:30nm
→分解能:1nm
→繰返し精度:±1nm
→共振周波数:1700Hz
→本体サイズ:70×60×16nm
○PK1L45-100U
→ストローク:100nm
→分解能:2nm
→繰返し精度:±52nm
→共振周波数:230Hz
→本体サイズ:45×45×20nm
※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 走査型プローブ顕微鏡 顕微鏡試料テーブル 分光分析機器 半導体、FPD関連装置 露光装置 マッピング測定 |
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