シリコンウェーハエッジポリッシャー　【日本製】アイエムティー

省スペース＆ハイスループットをコンセプトに開発された新しいシリコンウェーハ端面研磨装置です

●ウェハーを選ばず高スループット研磨が可能
●加工面精度を向上
●ケミカルフリーの研磨が可能
●各種膜の除去が可能
●ウェハー製造の各工程へ導入が可能

基本情報シリコンウェーハエッジポリッシャー　【日本製】

ウェハー製造工程において、スループット向上面精度UPを可能にしたシリコンウェーハエッジポリッシャーは、世界的に導入されています。
6インチ、8インチ、12インチウェハー対応のシリコンウェーハエッジポリッシャーは精密研磨テープを使用し、弊社の特許技術により常に新しい砥粒面で研磨できることで安定したの研磨力が得られます。

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型番・ブランド名	TUNeDGE
用途／実績例	シリコンウェハーエッジポリッシャーは様々な用途に活用できます。シリコンウェハーの各製造工程（べべリング後、エッチング後、CVD膜除去）に活用されています。また、リクレイム用途や各種メタル膜の除去にも有効です。

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取扱企業シリコンウェーハエッジポリッシャー　【日本製】

アイエムティー株式会社

○研磨機・研磨装置の立案、開発、設計製作 ○機械設計、電気設計、機械製作の受託業務 ○お客様の既設装置のメンテナンス、設備改修 ○制御盤リプレース、PLCリプレース ○顕微鏡観察用試料作製装置設計製作販売試料研磨装置(IM-P2)、試料回転装置(SP-L1)、ローラー式試料回転ユニット(SP-AS1)、試料埋込機(GI-10)、２連研磨装置(E^O^2)、試料乾燥機(U-104)、自動試料研磨装置個別荷重方式(Rana3)、自動試料研磨装置全体荷重方式(Rana30)、アクアクーラントサーキュレーター、精密切断機精密、自動研磨装置(Cyrex-8)、全自動試料研磨装置(Cyrex)