翔栄システム株式会社 変位センサ Lion社 静電容量センサ
- 最終更新日:2013-01-22 11:29:48.0
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シンプルプロープで、分解能0.2nmを実現しました!
シンプルプロープで分解能0.2nmを実現(レンジ・応答周波数毎に異なります)。測定対象物の材質を選びません(導体・半導体・非導体、何でも測定できます)。静電容量センサで6mmの長測定レンジを実現(Lion社でしか実現できないレンジ長です)。センサ出力の安定性を求める方にお勧めします。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
※こちらのカタログは英語のカタログになります。
基本情報変位センサ Lion社 静電容量センサ
【特長】
○シンプルプロープで分解能0.2nmを実現
○測定対象物の材質を選ばない
○静電容量センサで6mmの長測定レンジを実現
○センサ出力の安定性を求める方にお勧め
【プローブ型静電容量センサ】
○センサ・アンプ各種
○矩形型プローブ
○筒型プローブ
○特注センサ各種
【性能仕様】
○測定レンジ 10μm~6mm
○分解能 最高0.4nm RMS
○応答周波数 15kHz
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