人が剥離を行い5％だった割れを、3％以内に改善しました。
近年、エコロジーブームとして太陽光発電が「公的支援制度」などもあり飛躍的に生産数が増加しています。ですが、生産方式が各社確立していない点もあり、自動化に未着手の工程が多々あります。株式会社斎藤精機は、その中でどうしても、人手に頼らなければならない工程の自動化に成功しました。シリコン切断後、張り付いたウエハの1枚ずつの剥離工程です。剥離後、洗浄、PVD処理を行い太陽電池のセルとして完成します。切断後のシリコンは160～180μｍと薄く非常に強度が弱い為、パイの様に割れやすい状態です。そのため人の手の間隔を頼りに1枚づつ剥がしている状態です。薄膜製品の剥離技術により、多方面への薄膜製品、薄膜ディスプレイデバイス、膜光バイスなどに展開することが出来ます。
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基本情報株式会社斎藤精機 太陽電池ウェハー剥離装置
【特徴】
○人が剥離を行い5％だった割れを、3％以内に改善
○生産量200％
○人の手による剥離タクト現行4秒に1枚、
この設備で最高2秒1枚まで上げつことが可能
○ウェーハの割れ率が少ない
○小原料化に繋がる薄厚化を実現
○シリコン切断後、張り付いたウエハの1枚ずつの剥離工程
○多方面への薄膜製品、薄膜ディスプレイデバイス、
膜光デバイスなどに展開可能
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