株式会社エー・シー・イー ACE 流体制御機器 製品ダイジェスト
- 最終更新日:2020-02-13 11:10:09.0
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流量制御器の決定版。実流量の応答速度が速く、ガス圧力変動に強い
差圧式・全流式流量制御器の決定版。実流量の応答速度が速く、ガス圧力変動に強い。差圧式質量流量制御器AFC/AFMシリーズは小型層流素子を流れるときに生じる、ガスの圧力差を測定し、温度、圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。大流量差圧式質量流量制御器DPFC-250/DPFMでは、乱流で生じる圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い質量流量にします。他にも、大流量(1000NLM以上)差圧式質量流量制御器DPFC-500/DPFM、自動圧力コントローラAP-200シリーズ、自動背圧コントローラなど、様々な製品を取り揃えております。
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基本情報ACE 流体制御機器 製品ダイジェスト
【掲載製品】
○差圧式質量流量制御器 AFC-150/AFM
○大流量差圧式質量流量制御器 DPFC-250/DPFM
○大流量(1000NLM以上)差圧式質量流量制御器 DPFC-500/DPFM
○自動圧力コントローラ AP200シリーズ
○自動圧力コントローラ AP100シリーズ
○自動背圧コントローラ
○排気圧力コントローラ EPSシリーズ
○NT合金ガスケット
○微量還元ガス分析計 TRA1000
○高精度基準流量計 BIOS社流量計
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