株式会社エー・シー・イー 差圧式大流量流量コントローラ DPFC/DPFMシリーズ
- 最終更新日:2020-02-13 11:10:09.0
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流体管路に生ずる微差圧を測定することにより質量流量計測・制御が実現
差圧式大流量流量コントローラ DPFC/DPFMシリーズは、流体の下流側に圧力検出穴を設置し流量管内との差圧により流量を測定します。微差圧計の開発により幅広い流量域と高度な測定を実現できました。乱流での差圧測定を行っており、流路径が小さく且つ流路長が短くてすみます。流量計は極低圧損で微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応答が可能です。
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基本情報差圧式大流量流量コントローラ DPFC/DPFMシリーズ
【特徴】
○小型で大流量の計測可能
○流量計は極低圧損
○微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応答
【対象ガス流量・圧力(ターゲット)】
○流量
→DPFC-250:100SLM~500SLM
→DPFC-500:1000SLM~5000SLM
○圧力:大気圧 ~0.99MPa
○基準校正圧力:0.2MPa、0.5MPa (指定要)
○対象ガス:N2、Air、H2、CH4、Ar、CO2他 水素はMax1000SLM
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