株式会社エー・シー・イー 超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ
- 最終更新日:2020-02-13 11:10:09.0
- 印刷用ページ
AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です
AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできております。CV150シリーズは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置には、圧力センサは内蔵されておらず、外付けの圧力センサや流量センサを使うことでセンサ内蔵型とは、異なったファンクションを実現できます。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ
【特徴】
○世界最小の圧力コントローラ
○マイコン内蔵によるデジタル制御
○DC24V単一電源で動作
○表示設定器からデジタル設定
○RS485による遠隔操作
○異常時閉の安全設計
○緊急遮断信号入力
○アラーム上下限個別設定
○圧力センサ内蔵(AP160M)
○アナログ設定信号入力可能
○高速応答
【ラインナップ】
○AP160M/CV150シリーズ
→半導体用クリーンガス使用可能
○AP100/AP150シリーズ
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。 |
用途/実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 |
カタログ超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ
取扱企業超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ
超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。