株式会社エー・シー・イー 超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ

AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です

AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできております。CV150シリーズは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置には、圧力センサは内蔵されておらず、外付けの圧力センサや流量センサを使うことでセンサ内蔵型とは、異なったファンクションを実現できます。
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基本情報超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ

【特徴】
○世界最小の圧力コントローラ
○マイコン内蔵によるデジタル制御
○DC24V単一電源で動作
○表示設定器からデジタル設定
○RS485による遠隔操作
○異常時閉の安全設計
○緊急遮断信号入力
○アラーム上下限個別設定
○圧力センサ内蔵(AP160M)
○アナログ設定信号入力可能
○高速応答

【ラインナップ】
○AP160M/CV150シリーズ
→半導体用クリーンガス使用可能
○AP100/AP150シリーズ

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カタログ超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ

取扱企業超小型デジタル圧力コントローラ AP160M/CV150シリーズ

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株式会社エー・シー・イー

■流体計測・制御技術 ■モニタリング技術 ■ガス分析機器・ガス混合装置・表面処理技術の開発 ■燃料電池の評価技術

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