マック産業機器株式会社 ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700
- 最終更新日：2013-05-28 18:36:18.0
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ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置
「ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H2100です。
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基本情報ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700
【仕様】
○ウエハを手動で搬送アームにセット
○チャンバー内でウォータージェットで分離
○1枚ずつ剥離分離
○手動で回収
○外形寸法：L1300ｘW1200ｘH2100
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カタログウエハ剥離洗浄装置 ME-5700
取扱企業ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700
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１．産業用ロボットの製造・販売。 ２．半導体試験装置、半導体検査及び半導体搬 送装置を含む半導体製造装置の製造販売 ３．液晶用搬送装置の製造、販売 ４．枚葉式スピン洗浄装置、スピンエッチング 装置の製造、販売 ５．太陽電池用シリコンウエハセパレーター 薄膜シリコンガラスエッチング CIGS用ガラス基板洗浄装置 等の製造、販売。
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