株式会社テクノビジョン フィルム貼付装置|マニュアルマウンター FM-224シリーズ

研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が可能

ウェハーマウンター/テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。

ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。
テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。

マニュアルタイプのウェハーマウンターワークサイズは、
■300mm(12インチ)
■200mm(8インチ)
■150mm(6インチ)と3機種を取り揃えています。
(無料貸出用デモ機もご用意)

また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。

貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。

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基本情報フィルム貼付装置|マニュアルマウンター FM-224シリーズ

■主な特長
・瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
・貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
・円周カッター内蔵。
・水平カッター内蔵。
・セパレーター巻き取り機構内蔵。
・オプション:ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FM-224シリーズ
用途/実績例 【ダイシング用途】
ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。

【保護(バックグラインド/BG)用途】
ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。

【その他】
フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。(DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等)

ラインナップ

型番 概要
FM-2243 12インチまで|装置サイズ:510mm(W)x 860mm(D)x 330mm(H)
FM-2248 8インチまで|装置サイズ:455mm(W)x 780mm(D)x 300mm(H)
FM-2246 6インチまで|装置サイズ:375mm(W)x 760mm(D)x 230mm(H)
FM-2243-BG 12インチまで バックグラインド:300mm/12、BG用途対応装置
FM-2248-BG 8インチまで バックグラインド:200mm/8 BG用途対応装置
FM-2246-BG 6インチまで バックグラインド:150mm/6 BG用途対応装置

カタログフィルム貼付装置|マニュアルマウンター FM-224シリーズ

取扱企業フィルム貼付装置|マニュアルマウンター FM-224シリーズ

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■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■FPD製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。 【洗浄装置関連】 ・カセット・キャリア洗浄装置 ・フォトマスク洗浄装置 ・全自動マスク洗浄装置/マスク洗浄機 ・簡易洗浄ユニット ・紫外線オゾン洗浄装置 ・超純水用・エアー用加熱装置 【スーパークリーンヒーター】 ・超純水用加熱ヒーター ・クリーン加熱ヒーター ・簡易タイプ温度コントローラー 【後工程組立関連】 ・テープマウンター/ウェハーマウンター(ウエハーマウンター) ・ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置 ・UVフィルム硬化装置/紫外線フィルム硬化装置 ・グリップリング/ウェハー収納ケース ※日本全国および海外(台湾、中国、欧米)にも対応。 詳細は、お気軽にお問合せ下さい。

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