ロータリーポンプコントロールシステム丸菱実業

ポンプで節電、高真空装置の設置場所を静かで快適な環境に

"ロータリーポンプをコントロールすることにより、消費電力・振動・
発熱量・音響ノイズを低減させる製品です。
多くの高真空装置では、高真空ポンプの粗引きとしてロータリー
ポンプが終夜運転されております。しかし、装置内が高真空に
到達した後では、アウトガスは極少量になります。
このシステムでは、ロータリーポンプと高真空ポンプの間に
バッファーチャンバーを入れ、その真空度をモニターすることにより、装置内は高真空に保ちながら、ロータリーポンプを間欠的に
運転・停止させます。"

基本情報ロータリーポンプコントロールシステム

"＜構成＞
　１．ロータリーポンプコントロール装置
　２．真空バッファーチャンバー
　３．ケース
　４．ピラニゲージ
　５．電磁ベローズバルブ
　６．接続キット

＜オプション＞
　１．バッファーチャンバー形状・容量
　２．フォアライントラップ

"

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	ESPS
用途／実績例	"・XPS、SIMS等表面分析装置のランニングコストの低減・SEM、TEM、FIB、STM等顕微鏡の振動の低減"

取扱企業ロータリーポンプコントロールシステム

丸菱実業株式会社

【特徴】 ○建設機械、プラスチック加工機械、包装荷造機械、電子電気計測機作業用ロボット、電子応用装置、コンピューター通信機器部品等の国内販売、並びに輸出入 ○半導体製造装置及び部品の国内販売、並びに輸出入 ○航空機用部品、自動車、オートバイの国内販売、並びに輸出入 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをご覧ください。