クライオポンプ　MARATHON CP-20 CRYOPUMP ナガセテクノエンジニアリング

取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた取付けが行えます。

MARATHON CP-20 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO500, ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.nagase-nte.co.jp/product/cryopump/cryop…

基本情報クライオポンプ　MARATHON CP-20 CRYOPUMP

【仕様】
○窒素（L/s）　9,700
○水（L/s）　29,100
○アルゴン（L/s）　8,300
○水素（L/s）　14,000
○アルゴンスループット（Torr - L/s）　11.3
○アルゴン排気容量（Std L）　6,000
○水素排気容量（Std L）　33
○クロスオーバー（Torr - L）　400
○クールダウンタイム（分）　190
○ポンプユニット重量（kg）　77
○H寸法（mm)　569
○メンテナンスサイクル（時間）　13,000

【納入範囲（標準構成）】
○CP-20クライオポンプ
○ヘリウム圧縮機（F-70L/H）
○3Mフレキシブルガスホース
○3Mコールドヘッドケーブル
○ガスホース接続用レンチキット

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取扱企業クライオポンプ　MARATHON CP-20 CRYOPUMP

ナガセテクノエンジニアリング株式会社横浜センター

１．低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス２．低温関連機器の設計・開発、製造及び販売３．半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス４．外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス５．その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス６．農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス