ナガセテクノエンジニアリング株式会社 クライオポンプ MARATHON CP-250LP
- 最終更新日：2015-06-18 13:20:01.0
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MARATHON CP-250LP CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。
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基本情報クライオポンプ MARATHON CP-250LP
【仕様】
○窒素（L/s） 3,000
○水（L/s） 6,300
○アルゴン（L/s） 2,500
○水素（L/s） 5,000
○アルゴンスループット（Torr - L/s） 11.0
○アルゴン排気容量（Std L） 1,600
○水素排気容量（Std L） 30
○クロスオーバー（Torr - L） 300
○クールダウンタイム（分） 110
○ポンプユニット重量（kg） 20
○HxL寸法（mm) 181 x 591
○メンテナンスサイクル（時間） 13,000
【納入範囲（標準構成）】
○CP-250LPクライオポンプ（ISO 250）
○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H）
○3Mフレキシブルガスホース
○3Mコールドヘッドケーブル
○ガスホース接続用レンチキット
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カタログクライオポンプ MARATHON CP-250LP
取扱企業クライオポンプ MARATHON CP-250LP
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１．低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス ２．低温関連機器の設計・開発、製造及び販売 ３．半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス ４．外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス ５．その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス ６．農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス
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